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金屬剝離工藝-lift off
金屬剝離工藝（metal lift-off technology）是指基片經過涂覆光致抗蝕劑、曝光、顯影后，以具有一定圖形的光致抗蝕劑膜為掩模，帶膠蒸發(fā)所需的金屬，然后在去除光致抗蝕劑的同時，把膠膜上的金屬一起剝離干凈，在基片上只剩下原刻出圖形的金屬。
來源:
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作者:pmoe2a7d5
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發(fā)布時間: 2020-03-27
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金屬剝離工藝-lift off
一、金屬剝離工藝是指一種精細的光刻腐蝕工藝。基片經過涂覆光致抗蝕劑、曝光、顯影后，以具有一定圖形的光致抗蝕劑膜為掩模，帶膠蒸發(fā)所需的金屬，然后在去除光致抗蝕劑的同時，把膠膜上的金屬一起剝離干凈，在基片上只剩下原刻出圖形的金屬。金屬剝離工藝的優(yōu)點是可獲得亞微米圖形，而且邊緣陡直，圖形尺寸精確。該工藝可普遍應用于要求精細光刻圖形的半導體器件的制造
二、屬剝離工藝步驟大體如下：涂敷、曝光、顯影、堅膜以得到需要的圖形，接著在片子上做金屬化(通常用蒸發(fā)方法)，然后用有機溶劑(常用乙醇和丙酮)去除光致抗蝕劑。與此同時在抗蝕劑頂部的金屬隨抗蝕劑一起脫離，而同GaAs片子直接接觸的金屬被保留下來。
與腐蝕工藝不同，金屬剝離工藝的成功之處在于金屬對抗蝕劑邊緣特別靈敏，抗蝕劑圖形通常制成開口小腔體大有著頂部突出邊緣的剖面形狀，并研制出多種能提供這種剖面的光刻技術。
三、金屬剝離工藝的優(yōu)點是可獲得亞微米圖形，而且邊緣陡直，圖形尺寸精確。它克服了晶體管、集成電路工藝中常用的光刻腐蝕法的缺點。這種工藝目前已普遍應用于要求精細光刻圖形的砷化鎵場效應晶體管的制造中。在表面聲波器件制作及高精度鉻掩模、彩色掩模工藝中也正在采用這種工藝。
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