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型號：Ｍ+-DS200C 主要特點：
適應尺寸：200mm×200mm t=1-8mm以下方形基片
具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能
主軸采用德國進口電機及部件
電機精度±1RPM
FFU功能（可選）    

型號：Ｍ+-DS200C 主要特點：  

適應尺寸：200mm×200mm t=8mm以下方形基片

具有旋涂、勻膠、清洗、吹氮功能

主軸采用德國進口電機及部件

調整±1RPM

FFU功能（可選）