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主要組成部分：

該設備主要由主軸單元、顯影液供給系統（附加恒溫裝置）、清洗系統、控制系統等組成，

采用框架結構，外表為不銹鋼鏡面護板，無發塵量且不吸浮塵顆粒，工作方式為手動上下片，

自動完成顯影、清洗、（氮氣吹干）等工藝。

SPIN DEV UNIT 顯影單元參數：　　　

SPIN MOTOR 離心機
額定轉速（德國電機）： 0～5000rpm
轉速調整量：   　   1rpm
轉速精度：       ±1rpm（500~300rpm）
加速度：           20000rpm/s
加速度調整量：  　 1RPM/S
承片臺(chuck)
材料：　　　     防靜電PEEK材質(兩個)與
晶片接觸方式 ：　　 真空吸附
吸附真空度檢測： 　 數顯壓力傳感器